Results for dunkelabtrag translation from German to English

der dunkelabtrag war < 20 nm; auch strukturen < 0,4 µm waren detailgetreu aufgelöst.
the removal of material in the dark was less than 20 nm; even structures of less than 0.4 μm were resolved in true detail.

unter entwicklungskontrast ist der unterschied zwischen dem prozentanteil des schichtverlusts in den belichte­ ten bereichen nach dem entwickeln und dem prozentanteil des schichtverlusts in den unbelichteten bereichen (dunkelabtrag) zu verstehen.
thus, increased photospeed is particularly important for a resist composition employed in processes where a number of multiple exposures must be made to produce a mask or series of circuit patterns on a substrate.

in diesem fall müssen längere belichtungs- und entwicklungszeiten in kauf genommen werden, und das erhaltene reliefbild weist infolge der unzureichenden löslichkeitsdifferenzierung zwischen belichteten und unbelichteten bereichen schwächen im kontrast, im strukturprofil und im dunkelabtrag auf.
in this case, longer exposure and development times must be accepted, and the resulting relief image has, due to the inadequate solubility differentiation between exposed and unexposed areas, weaknesses in contrast, in the structural profile and in the wearing-off in the dark.

vergleichsbeispiel 2 dieses vergleichsbeispiel zeigt, daß die verwendung von kommerziell erhältlichen sulfoniumsalzen (ohne säurelabile gruppen), ebenfalls nicht die erwünschte reduzierung des dunkelabtrages auf werte kleiner 5 % erfüllt.
comparative example 2 this comparative example shows that the use of commercial sulfonium salts (without acid labile groups) likewise does not meet the desired reduction in dark depletion to values smaller than 5%.