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monochromator mit unterdrückung höherer beugungsordnungen
monochromateur avec suppression des ordres supérieurs de diffraction
Last Update: 2014-12-03
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verfahren nach anspruch 1, bei dem der schritt der bestimmung der relativen relevanz für die abbildung von beugungsordnungen ferner den schritt aufweist: bestimmung der charakteristischen teilung des gewählten maskenmusters.
procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de détermination d'une pertinence relative à l'imagerie d'ordres de diffraction comporte de plus l'étape consistant à : déterminer un pas caractéristique du motif de masque choisi.
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4) vorrichtung nach anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die intensitätsverteilung über die verschiedenen beugungsordnungen bestimmenden gitterparameter (15'', 16'') so gewählt sind, daß ein maximaler prozentsatz der einfallenden strahlungsstärke (b) in die gewählte beugungsordnung (b a ) abgebogen wird.
appareil suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les paramètres de réseau (15'', 16'') déterminant la distribution d'intensité sur les différents ordres de diffraction sont choisis tels qu'un pourcentage maximum de l'intensité du rayonnement incident (b) se fonde dans l'ordre de diffraction sélectionné (b a ).
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