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Verfahren zur Absolutkalibrierung eines Interferometers

Englisch

Method for the absolute calibration of an interferometer

Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Absolutkalibrierung eines Interferometers mit einer kugelförmigen Ausgangswelle.

Englisch

BACKGROUND OF THE INVENTION [0001] 1. Field of the Invention [0002] The invention relates to a method for absolute calibration of an interferometer with the aid of a spherical output wave.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Durch die vorstehend genannte Messung erhält man eine verbesserte Genauigkeitsabschätzung für die Absolutkalibrierung.

Englisch

[0053] The above-named measurement yields an improved estimate of accuracy for absolute calibration.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Die Absolutkalibrierung erfolgt mit Normalflüssigkeiten und/oder Gasen bis zu einer Genauigkeit von ca. 10...10.

Englisch

Absolute calibration takes place using normal liquids and/or gases to an accuracy of approximately 10...10.

Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Es zeigt: Zur Absolutkalibrierung eines Interferometers 1 mit einer Referenzfläche werden nach dem Ausführungsbeispiel gemäß Figur 1 fünf Messungen vorgesehen.

Englisch

DETAILED DESCRIPTION [0022] According to the exemplary embodiment in accordance with FIG. 1, five measurements are provided for absolute calibration of an interferometer with a reference surface.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein neues Absolutkalibrierverfahren für Interferometer mit sphärischer Ausgangswelle zu schaffen, durch das mindestens genauso gut gemessen werden kann, wie mit den bisher bekannten Verfahren, wodurch eine weitere Möglichkeit gegeben wird, die Genauigkeit der Absolutkalibrierung besser beurteilen zu können.

Englisch

SUMMARY OF THE INVENTION [0006] It is the object of the present invention to create a novel absolute calibration method for interferometers with a spherical output wave, which can be used to measure at least as accurately as can be done with the aid of the previously known methods, a further possibility thereby being provided of assessing more effectively the accuracy of the absolute calibration.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
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