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Mit der erfolgreichen Einführung von ternären Verschleißschutzschichten aus Legierungen wie TiAlN kam der Wunsch auf, Funkenverdampferanlagen mit einem Niedervoltbogen zum Ätzen auszurüsten, um die Vorteile dieser Verfahren zu kombinieren.

Englisch

The successful introduction of ternary and anti-wear layers made of alloys such as TiAlN brought with it the desire to equip arc source systems with a low-voltage arc for etching, in order to combine the advantages of these methods.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
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Deutsch

Bearbeitungsparameter: Schnittgeschwindigkeit Vc=120m/min, Vorschub f=0.2mm/U. Beide Werkzeuge wurden in einer kathodischen Funkenverdampferanlage Typ RCS der Firma Balzers mit einer mehrlagigen Schicht aus AlCrN und TiSiN Einzellagen (Balinit® Helica) mit einer Gesamtschichtdicke von ca. 4 µm beschichtet.

Englisch

Processing parameters: Cutting speed Vc=120 m/min, advance rate f=0.2 mm/rev. Both tools had been provided, in a Balzers RCS spark evaporation system, with a multilayer coating consisting of AlCrN and TiSiN monolayers (Balinit® Helica) for a total coating thickness of about 4 μm.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
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