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Phasenkontrast-Elektronenmikroskop mit ringförmiger Beleuchtungsapertur

Französisch

Microscope électronique à contraste de phase avec ouverture d'illumination annulaire

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Okularlinsenmittel aufgrund der schrägen Ausrichtung zwischen der Achse des Beleuchtungsstrahlengangs und der optischen Achse des Okularlinsenmittels (11) eine Beleuchtungsapertur bildet, welche relativ zur optischen Achse des Okularlinsenmittels dezentriert ist.

Französisch

Appareil selon la revendication 1, où l'orientation oblique de l'axe du trajet d'illumination par rapport à l'axe optique du dispositif oculaire (11) fait que ledit dispositif oculaire forme une ouverture d'illumination qui est décentrée par rapport à l'axe optique dudit dispositif oculaire.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Transmissions-Elektronenmikroskop mit einer optischen Achse (OA), einem Beleuchtungssystem (1, 2, 3, 4) zur Ausleuchtung eines in einer Objektebene (7) zu positionierenden Objektes mit einem Elektronenstrahl und einem Objektiv (6) zur Abbildung des ausgeleuchteten Objektes, wobei der Elektronenstrahl am Objekt in einen Nullstrahl und höhere Beugungsordnungen aufgespalten wird, wobei in einer von der Objektebene (7) abgewandten Brennebene (15) des Objektivs (6) oder einer dazu konjugierten Ebene ein phasenschiebendes Element (9) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Beleuchtungssystem derartig ausgebildet ist, dass es im Betrieb in einer zur Objektebene (7) fouriertransformierten Ebene eine ringförmige Beleuchtungsapertur erzeugt und dass das phasenschiebende Element derartig ausgebildet ist, dass es im Betrieb dem Nullstrahl (50) gegenüber der am Objekt in höheren Beugungsordnungen (51) gebeugten Strahlung eine Phasenverschiebung erteilt und dass das phasenschiebende Element (9) derartig ausgestaltet ist, dass es im Betrieb die Phase der am Objekt in höheren Beugungsordnungen (51) gebeugten Strahlung, die in radialer Richtung näher an der optischen Achse als der Nullstrahl (50) verläuft, nicht oder nur geringfügig beeinflußt.

Französisch

Microscope électronique à transmission, qui présente un axe optique (OA), un système d'éclairage (1, 2, 3, 4) qui éclaire par un faisceau d'électrons un objet placé sur un plan d'objet (7) et un objectif (6) de forme l'image de l'objet éclairé, le faisceau d'électrons étant dissocié sur l'objet en un faisceau neutre et des ordres de diffraction plus élevés, un élément de déphasage (9) étant disposé dans le plan focal (15) de l'objectif (6), plan non tourné vers le plan d'objet (7), ou dans un plan conjugué à ce plan focal, caractérisé en ce que le système d'éclairage est réalisé de telle sorte qu'en fonctionnement, une ouverture annulaire d'éclairage soit formée dans un plan de transformée de Fourier par rapport au plan d'objet (7), et en ce que l'élément de déphasage est configuré de telle sorte qu'en fonctionnement, il donne au faisceau neutre (50) un déphasage par rapport au rayonnement diffracté sur l'objet en ordres de diffraction (51) plus élevés, et en ce que l'élément de déphasage (9) est configuré de telle sorte qu'en fonctionnement, il n'agit pas ou agit peu sur la phase du rayonnement diffracté sur l'objet en ordres de diffraction (51) plus élevés et qui s'étend plus près de l'axe optique dans la direction radiale que le faisceau neutre (50).

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Transmissios-Elektronenmikroskop nach einem der Ansprüche 1 - 9, wobei in einer zur Objektebene (7) quellenseitigen, konjugierten Ebene ein Ablenksystem (4) für eine zeitlich sequentielle Erzeugung der ringförmigen Beleuchtungsapertur angeordnet ist.

Französisch

Microscope électronique à transmission selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel un système (4) de déviation est disposé dans un plan conjugué au plan d'objet (7) du côté de la source pour créer une succession temporelle d'ouvertures annulaires d'éclairage.

Letzte Aktualisierung: 2014-12-03
Nutzungshäufigkeit: 1
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