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reinigungsmodul und reinigungsstifte
module de nettoyage et goujons de nettoyage

reinigungsmodul zum reinigen und befeuchten von luft
module d'épuration pour l'épuration et l'humidification de l'air

reinigungsmodul und verfahren zur reinigung der oberflÄche eines substrates
module de nettoyage de tranche et procede de nettoyage de la surface d'un substrat

rÜcknahmeautomat fÜr leergutbehÄlter, reinigungsmodul und verfahren zum betreiben des rÜcknahmeautomaten
dispositif automatique de recyclage pour contenants vides, module de nettoyage et procede pour faire fonctionner ce dispositif

verfahren zur abscheidung einer metallschicht und mehrkammerreaktor mit einem superkritischen trocknungs-/reinigungsmodul zur metallabscheidung
procede de depot de film metallique et outil combine de depot metallique comprenant un module de sechage/nettoyage supercritique

vorrichtung nach anspruch 4, wobei die vorrichtung ein integriertes cmp-werkzeug mit einem reinigungsmodul und einem cmp-modul ist.
appareil selon la revendication 4, où l'appareil est un outil de polissage mécanique et chimique intégré ayant un module de nettoyage et un module de polissage mécanique et chimique.

anordnung nach anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der reinigungsmodul (22) quer zu den tintendruckmodulen (21) und anliegend an diesen angeordnet ist.
arrangement selon la revendication no. 1, caractérisé en ce que le module de nettoyage (22) est arrangé à travers des modules d'impression à encre (21) et collant à eux.

anordnung nach anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der reinigungsmodul (22) an den/die tintendruckmodul/e (21) angereiht ist.
arrangement selon la revendication no. 1, caractérisé en ce que le module de nettoyage (22) se succède au/aux module/s d'impression à encre (21).