Sie suchten nach: flerkammerwaferhåndteringssystemer (Dänisch - Englisch)

centrale flerkammerwaferhåndteringssystemer til automatisk ilægning med samtlige følgende egenskaber:
automatic loading multi-chamber central wafer handling systems, having all of the following:

e. centrale flerkammerwaferhåndteringssystemer til automatisk ilægning med samtlige følgende egenskaber:
e. automatic loading multi-chamber central wafer handling systems having both of the following:

i forbindelse med 3b001.e. er 'sekventiel behandling af flere wafers' muligheden for at behandle hver enkelt wafer med forskellige 'halvlederbearbejdningsværktøjer', f.eks. ved at den enkelte wafer overføres fra et værktøj til et andet og derfra videre til et tredje værktøj med de centrale flerkammerwaferhåndteringssystemer til automatisk ilægning.
for the purpose of 3b001.e., ‘sequential multiple wafer processing’ means the capability to process each wafer in different ‘semiconductor process tools’, such as by transferring each wafer from one tool to a second tool and on to a third tool with the automatic loading multi-chamber central wafer handling systems.