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English

French

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English

VAPOR JET VACUUM PUMP HAVING EJECTOR STAGE IN FORELINE CONDUIT

French

POMPE A VIDE A JET DE VAPEUR COMPRENANT UN ETAGE EJECTEUR DANS CONDUIT DE PREVIDE

Last Update: 2014-11-25
Usage Frequency: 3
Quality:

English

vapor jet vacuum pump having ejector stage in foreline conduit

French

pompe à vide à jet de vapeur comprenant un étage éjecteur dans conduit de prévide

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

the ejector stage may be driven by a backing pump coupled to the foreline conduit.

French

l'étage éjecteur peut être entraîné par une pompe auxiliaire couplée au conduit de prévide.

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

METHOD AND APPARATUS EMPLOYING TURBO PUMP-FORELINE PUMP CONFIGURATION, FOR EXAMPLE, IN MASS SPECTROMETER

French

PROCEDE ET DISPOSITIF A CONFIGURATION DE TURBOPOMPE-POMPE DE CIRCUIT DE REFOULEMENT PRIMAIRE, MIS EN OEUVRE PAR EXEMPLE DANS UN SPECTROMETRE DE MASSE

Last Update: 2014-11-25
Usage Frequency: 4
Quality:

English

method and apparatus employing turbo pump-foreline pump configuration, for example, in mass spectrometer

French

procédé et dispositif à configuration de turbopompe-pompe de circuit de refoulement primaire, mis en oeuvre par exemple dans un spectromètre de masse

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

EPX can be mounted directly onto the tool saving foreline and installations costs, or used remotely if preferred.

French

L'EPX peut être montée directement sur l'équipement, pour économiser des coûts d'installation et de conduite de refoulement, ou être utilisée à distance.

Last Update: 2018-02-13
Usage Frequency: 1
Quality:

English

during use of the pump, a reactant such as NF3 is introduced into a foreline extending between the tool and the pump

French

ceci consiste à introduire, pendant l'utilisation de la pompe, un réactif, tel que NF3, dans l'évacuation s'étendant entre l'outil et la pompe

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

the hydrofluoric acid is introduced upstream of the dry pump through a nozzle in the foreline or at the inlet to the dry pump.

French

l'acide fluorhydrique est introduit en amont de la pompe désamorcée par une buse dans la conduite de refoulement ou au niveau de l'entrée de la pompe désamorcée.

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

between the first compartment and the foreline is a second compartment 24 having extending from its internal wall a plurality of interleaved baffles

French

entre le premier compartiment et la décharge de réserve se trouve un second compartiment, à partir de la paroi interne duquel s'étendent plusieurs chicanes entrelacées

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

the flow of dopant may be established by dumping the dopant flow directly to the foreline of a vacuum exhaust system of an SACVD system

French

on peut établir le flux d'impuretés en dirigeant celui-ci directement sur le raccordement de prévide d'un mécanisme d'extraction par le vide de système de dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

The apparatus comprises a foreline for conveying the waste stream which is drawn from the process chamber to the pumping mechanism.

French

L'appareil comprend une conduite de refoulement primaire servant à transporter le flux de déchets qui est aspiré depuis la chambre de combustion vers le mécanisme de pompage.

Last Update: 2014-12-03
Usage Frequency: 1
Quality:

English

The foreline comprises an isolation valve for selectively isolating the pumping mechanism from the process chamber and a bypass positioned around the isolation valve.

French

Le conduit de refoulement comprend une vanne d'isolation servant à isoler de manière sélective le mécanisme de pompage de la chambre de combustion et une dérivation disposée autour de la vanne d'isolation.

Last Update: 2014-12-03
Usage Frequency: 1
Quality:

English

a dry pump has adjacent its inlet and between the inlet and pump foreline an apparatus for abating the back flow of organic molecules originating from a lubricant used to lubricate a drive mechanism of the pump

French

une pompe désamorcée qui comporte, à proximité adjacente de son entrée et entre l'entrée et la décharge de réserve de la pompe, un appareil destiné à réduire le refoulement des molécules organiques provenant du lubrifiant utilisé pour lubrifier le mécanisme moteur de la pompe

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

the ejector stage includes an ejector nozzle mounted in the foreline conduit and a fluid inlet located external to the housing and coupled by an ejector conduit to the ejector nozzle

French

l'étage éjecteur comprend une buse d'éjection montée sur le conduit de prévide et une entrée de fluide placée à l'extérieur du logement et couplée par un conduit éjecteur à la buse d'éjection

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

a plasma generator located within the foreline generates from the NF3 fluorine and/or fluorine radicals for cleaning the pump as they are conveyed therethrough.

French

un générateur de plasma situé à l'intérieur de cette évacuation, génère du fluor et/ou des radicaux de fluor à partir de NF3, ce qui sert à nettoyer la pompe simultanément à leur passage.

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

The flow of dopant may be established by dumping the dopant flow directly to the foreline of a vacuum exhaust system of an SACVD system, rather than flowing the dopant through the chamber.

French

On peut établir le flux d'impuretés en dirigeant celui-ci directement sur le raccordement de prévide d'un mécanisme d'extraction par le vide de système de dépôt chimique en phase vapeur à pression sub-atmosphérique, au lieu de faire circuler les impuretés directement dans la cloche à vide.

Last Update: 2014-12-03
Usage Frequency: 1
Quality:

English

During use of the pump, a reactant such as NF3 is introduced into a foreline (18) extending between the tool and the pump.

French

Ceci consiste à introduire, pendant l'utilisation de la pompe, un réactif, tel que NF3, dans l'évacuation s'étendant entre l'outil et la pompe.

Last Update: 2014-12-03
Usage Frequency: 1
Quality:

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English

a secondary reaction chamber with a mesh reactor element and a heater assembly are positioned in a foreline between a CVD reaction chamber and a vacuum pump to mix and react all previously unreacted precursor reactants to remove them from the effluent before they can reach and damage the vacuum pump.

French

une chambre de réaction secondaire comportant un élément de réacteur maillé et un ensemble chauffant est placée dans une conduite de refoulement primaire entre une chambre de réaction CVD et une pompe à vide pour mélanger et faire réagir l'ensemble des réactifs précurseurs non réagis précédemment, de manière à les éliminer de l'effluent avant qu'ils n'atteignent la pompe à vide et l'endommagent.

Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:

English

Apparatus as claimed in any one of the preceding claims wherein the cooling means comprises cooling fins (90) on said second foreline and means for directing an air flow over said cooling fins.

French

Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de refroidissement comprennent des nervures (90) de refroidissement agencées sur ladite seconde conduite primaire, et des moyens pour diriger un flux d'air sur lesdites nervures de refroidissement.

Last Update: 2014-12-04
Usage Frequency: 1
Quality:

English

The apparatus further includes a trace gas permeable member coupled between the test line and the pump inlet, the foreline, or, in the case where the first vacuum pump is a turbomolecular pump, a midstage line.

French

L'appareil comporte en outre un élément perméable aux gaz à l'état de traces raccordé entre la ligne d'essai et l'admission de la pompe, le prévide, ou, dans le cas où la première pompe à vide est turbomoléculaire, une ligne intermédiaire.

Last Update: 2014-12-03
Usage Frequency: 1
Quality:

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