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German

KONFIGURATION UND VERFAHREN ZUR GEWINNUNG VON FLÜSSIGEM ERDGAS UNTER VERWENDUNG EINES UNTERKÜHLTEN RÜCKFLUSSVERFAHRENS

English

CONFIGURATION AND PROCESS FOR NGL RECOVERY USING A SUBCOOLED ABSORPTION REFLUX PROCESS

Last Update: 2014-11-28
Usage Frequency: 1
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German

Das Verfahren zur Herstellung der Logik-Ansteuerungs- und Widerstandselemente auf dem Wafer gemäß dem Anspruch 1, wobei das Verfahren weiter die folgenden Schritte umfaßt: (g) Durchführen eines Rückflußverfahrens an einer Glasschicht (244) über der Oberfläche des Wafers nachfolgend auf den Schritt des Dotierens der Enden der Polysiliziumswiderstandsgebiete (234, 236) zur Herstellung lokalisierter Gebiete mit geringerem Widerstand bei Schritt (f); (h) Ätzen des Rückflußglases (244) zur Herstellung von Durchgangsöffnungen (242), die sich dadurch hindurch zu den Source-Drain- (130) und die Widerstandskontakt- (234, 236) Gebieten erstrecken; (i) Dotieren der freiliegenden Source-Drain (130) und des Widerstandskontakts (234, 236) mit einer Borimplantation; und (j) nachfolgendes Aktivieren der Borimplantation.

English

The method of producing the logic, driver and resistor elements on the wafer according to claim 1, wherein the method further comprises the steps of: (g) reflowing a glass layer (244) over the surface of the wafer subsequent to the step of doping the ends of the polysilicon resistor regions (234, 236) to produce localized areas of lower resistivity at step (f); (h) etching the reflow glass (244) to produce vias (242) which extend therethrough to the source-drain (130) and resistor contact (234, 236) regions; (i) doping the exposed source-drain (130) and resistor contact (234, 236) with a boron implant; and (j) subsequently activating the boron implant.

Last Update: 2014-12-05
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