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Results for regelkreiscontroller translation from German to English

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German

Waferreinigungsvorrichtung, die folgendes umfasst: - eine Wafertrageinrichtung (4) zum vertikalen Tragen eines zu reinigenden Wafers (3); - Schwämme (1, 2) zum Reinigen des Wafers (3), wobei die Schwämme (1, 2) in Kontakt mit beiden Oberflächen des Wafers (3) angeordnet sind, wobei ihre Drehachsen parallel zu dem Wafer (3) verlaufen; - eine steuerbare Schwammpositioniereinrichtung (13) zum Drücken der Schwämme (1, 2) gegen den Wafer (3); - einen Waferdrehantrieb (10), der dafür ausgelegt ist, den Wafer (3) mit einer konstanten Drehzahl zu drehen; - ein Schwammdrehantriebssystem (11), das dafür ausgelegt ist, die Schwämme (1, 2) mit einer konstanten Drehzahl zu drehen und - einen Regelkreiscontroller (12), der Motorstromsignale von mindestens einem des Waferdrehantriebs (10) und des Schwammdrehantriebsystems (11) erhält, wobei der Regelkreiscontroller (12) ein Einstellsignal an die Schwammpositioniereinrichtung (13) zum Drücken der Schwämme gegen den Wafer als Reaktion auf die Motorstromsignale liefert, um die Reibung zwischen den Schwämmen (1, 2) und dem Wafer (3) einzustellen.

English

Wafer cleaning apparatus, comprising - a wafer supporting device (4) for vertically supporting a wafer (3) to be cleaned; - sponges (1, 2) for cleaning the wafer (3), said sponges (1, 2) being arranged in contact with either surface of the wafer (3) with their rotation axes being parallel to the wafer (3) ; - a controllable sponge positioning device (13) for pushing said sponges (1, 2) against said wafer (3); - a wafer rotation drive (10) adapted to rotate said wafer (3) at a constant speed; - a sponge rotation drive system (11) adapted to rotate said sponges (1, 2) at a constant speed; and - a closed loop controller (12) receiving motor current signals from at least one of said wafer rotation drive (10) and said sponge rotation drive system (11), said closed loop controller (12) providing an adjustment signal to said sponge positioning device (13) for pushing said sponges against the wafer in response to said motor current signals so as to adjust the friction between the sponges (1, 2) and the wafer (3).

Last Update: 2014-12-05
Usage Frequency: 1
Quality:

German

Waferreinigungsvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Regelkreiscontroller (12) Speichermittel umfasst zum Speichern eines Rezepts, das die Reibungsbedingungen darstellt, die an verschiedene Reinigungsbedingungen angepasst sind.

English

Wafer cleaning apparatus according to any of the preceding claims, wherein said closed loop controller (12) comprises storage means for storing a recipe representing the friction conditions which are adapted to different cleaning requirements.

Last Update: 2014-12-05
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