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rÜckÄtzprozess mit stickoxid
procede de retrogravure a l'aide d'oxyde nitreux
Last Update: 2014-12-03
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verfahren nach einem der ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass zur vollendung der metallisierung ein rückätzprozess durchgeführt wird, mit dem die auf horizontalen isolatorflächen abgeschiedenen ti/tisi 2 - oder tisi/tisi 2 -schichten wieder entfernt werden.
procédé suivant l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que , pour achever la métallisation, on effectue une opération d'attaque en retour par laquelle on élimine à nouveau les couches de ti/tisi 2 ou de tisi/tisi 2 déposées sur des surfaces horizontales isolantes.
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