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Información

Alemán

plasmareinigungsverfahren

Inglés

plasma cleaning method

Última actualización: 2014-11-28
Frecuencia de uso: 2
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Alemán

plasmareinigungsverfahren zum entfernen von rÜckstÄnden in einer plasmabehandlungskammer.

Inglés

a plasma cleaning method for removing residues in a plasma treatment chamber.

Última actualización: 2014-11-28
Frecuencia de uso: 2
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Alemán

plasma-beständiger deckel sowie davon gebrauch machendes plasmareinigungsverfahren und -anlage

Inglés

plasma-inert cover and plasma cleaning process and apparatus employing same

Última actualización: 2014-11-28
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