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Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Metallisierungskammer (17) eine Vorglimmkammer (16) vorgeschaltet ist.

Anglais

Apparatus according to Claim 4, characterized in that the metallization chamber (17) is preceded by a preglow chamber (16).

Dernière mise à jour : 2014-12-05
Fréquence d'utilisation : 1
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Allemand

Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Beschichtungskammer (18) eine Metallisierungskammer (17) vorgeschaltet ist.

Anglais

Apparatus according to any one of the preceding claims, characterized in that the coating chamber (18) is preceded by a metallization chamber (17).

Dernière mise à jour : 2014-12-05
Fréquence d'utilisation : 1
Qualité :

Allemand

Stromzuführungssystem für eine integrierte Halbleiterlaser-Schaltung, mit einem von einer leitend dotierten Schicht (40) bedeckten Substrat (27) und wenigstens einem Lasersteg (30), der auf das Substrat (27) aufgebracht und zwischen zwei in das gleiche Substrat (27) eingebrachten Reflektorleisten (28) enthalten ist, die zu den Achsen der Lasersendestreifen (18) des Steges (30) senkrecht sind, wobei dieses System dadurch gekennzeichnet ist, daß a) - die Stromzuführung für die Laser zwischen zwei Metallisierungskämmen (42, 43) erfolgt, die beiderseits des Steges (30) angeordnet und auf die Reflektorleisten (28) aufgebracht sind, wobei die Zähne wenigstens eines ersten Kammes mit den Lasersendestreifen (18) verschachtelt sind und jeweils in einer zur Achse der Sendestreifen (18) parallelen Metallisierung (44) enden, b) - bei jedem Zahn (42) des ersten Kammes die Endmetallisierung (44) am Boden einer in die Dickenabmessung der Halbleiterschichten (16) des Steges (30) eingeätzten Grube (48) angeordnet ist und mit der auf das Substrat (27) des Steges aufgewachsenen leitend dotierten Schicht (40) in Kontakt steht, c) - bei jedem Zahn (43) des zweiten Kammes die Endmetallisierung (45) auf der Oberseite des Lasersteges (30) angeordnet ist, und d) - die vertikalen Flanken jeder Grube (48) und die vertikalen Flanken der Längsseiten des Steges (30) von einer Schicht (51) aus einem dielektrischen Material wie etwa Aluminiumoxid bedeckt sind, auf der vertikale Metallisierungen (49, 50) aufgebracht sind, um den Stromfluß zwischen den Zähnen (42, 43) der beiden Zuführungskämme und deren Endteilen (44, 45) sicherzustellen, die auf unterschiedlichen Niveaus angeordnet sind.

Anglais

Electrical power supply system for an integrated semiconductor laser circuit, including a substrate (27) covered by a conducting doped layer (40) and at least one row of lasers (30) deposited on the substrate (27) and lying between two reflector strips (28), cut into the same substrate (27), which are perpendicular to the axes of the laser emitter ribbons (18) of the said row (30), this system being characterized in that: a) - the electrical power supply for the lasers is taken between two metallization combs (42, 43) situated on either side of the row (30) and deposited on the reflector strips (28), the teeth of at least one first comb being interdigitated with the laser emitter ribbons (18) and each being terminated by a metallization (44) parallel to the axis of the said emitter ribbons (18), b) - for each tooth (42) of the first comb, the terminal metallization (44) is situated at the bottom of a recess (48) etched into the thickness of the semiconducting layers (16) of the said row (30) and in contact with the epitaxial conducting doped layer (40) on the substrate (27) of the row, c) - for each tooth (43) of the second comb, the terminal metallization (45) is situated on the upper face of the row of lasers (30), d) the vertical flanks of each recess (48) and the vertical flanks of the longitudinal faces of the row (30) are covered by a layer (51) of a dielectric material such as alumina, on which vertical metallizations (49, 50) are deposited for the purpose of ensuring electrical continuity between the teeth (42, 43) of the two power supply combs and their terminal parts (44, 45), situated at different levels.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Sobald sich das Bügelpaar nach dem Durchlauf durch die Metallisierungskammer in der Kammer 17 befindet, wird ihm über eine elektrisch getrennte Büstenvorrichtung 18 ein Strom mit einer Polarität zugeführt, die der entgegengesetzt ist, die das Bürstenpaar beim Durchlauf durch die Metallisierungskammer erhält.

Anglais

As soon as the pair of brackets, after passing through the metallising chamber, is in the chamber 17, there is passed to it through an electrically separated brush device 18 a current with a polarity which is opposite to that imparted to the brush pair when passing through the metallising chamber.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Um das an den Bügelenden niedergeschlagene Metall nach dem Durchlauf durch die Metallisierungskammer wieder zu entfernen, ist ein weiterer Badbehälter (Entmetallisierungskammer) 17 vorgesehen, der mit der Metallisierungslösung in der Metallisierungskammer in Verbindung steht.

Anglais

In order again to remove the metal deposited on the ends of the brackets after passing through the metallisation chamber, a further bath container (demetallisation chamber) 17 is provided, which communicates with the metallising solution in the metallisation chamber.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Dabei kann der Beschichtungskammer vorzugsweise eine Metallisierungskammer und dieser eine Vorglimmkammer vorgeschaltet sein, so daß auch der reflektierende Metallauftrag auf den Reflektor im gleichen Durchgang kurz vor Aufbringen der Korrosionsschicht erzeugt werden kann.

Anglais

The coating chamber can here preferably be preceded by a metallization chamber and this be preceded by a pre-glow chamber, so that the reflective metal coating can also be produced on the reflector during the same pass shortly before application of the corrosion-protection layer.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

In der Metallisierungskammer wird die reflektierende Metallschicht beispielsweise durch Magnetron-Sputtern aufgebracht, die für andere, in Durchlaufanlagen hergestellte Schichten zum Stand der Technik gehört.

Anglais

In the metallization chamber, the reflective metal layer is applied, for example by magnetron sputtering, which is prior art for other layers produced in continuous plants.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Zunächst gelangen die mit Scheiwerferrreflektoren 10 versehenen Werksstückträger 11 in eine Vakuumeinschleuskammer 15, dann in eine Vorglimmkammer 16, die in Einzelfällen auch entfallen kann, dann in eine Metallisierungskammer 17, dann in eine Schutzbeschichtungskammer 18, aus der sie über eine Vakuumausschleuskammer 19 wieder herausgeführt werden.

Anglais

The workpiece carriers 11 provided with headlamp reflectors 10 first enter a vacuum inlet chamber 15, then a pre-glow chamber 16, which in some cases can be omitted, then a metallization chamber 17, then a protective coating chamber 18 from which they are again conveyed out via a vacuum outlet chamber 19.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
Fréquence d'utilisation : 1
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Allemand

Danach gelangt er in eine Metallisierungskammer, wo er mit einer Metallschicht versehen wird.

Anglais

The tube then passes into a metallisation chamber in which said tube is provided with a metallic coating.

Dernière mise à jour : 2014-11-28
Fréquence d'utilisation : 1
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Allemand

Hierauf wird der Schlauch um 180 Grad umgelenkt und noch einmal in der Metallisierungskammer und der Beschichtungskammer beschichtet.

Anglais

The tube is then deflected about 180 degrees and coated again in the metallisation chamber and the coating chamber.

Dernière mise à jour : 2014-11-28
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