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Es ist von Vorteil, wenn die eine Strahlungsdosisverteilung einem fresnelschen Linsenprofil und die andere einem klasischen Linsenprofil entspricht.

Anglais

In an advantageous manner, one radiation dose distribution corresponds to a Fresnel lens profile and the other radiation dose distribution corresponds to a classic lens profile.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
Fréquence d'utilisation : 1
Qualité :

Allemand

Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die eine Strahlungsdosisverteilung einem fresnelschen Linsenprofil und die andere einem klassischen Linsenprofil entspricht.

Anglais

Method as claimed in Claim 4, characterised in that one radiation dose distribution corresponds to a Fresnel lens profile and the other corresponds to a classical lens profile.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Dadurch ist es möglich, die laterale Strahlungsdosisverteilung so zu gestalten, daß man mit dem Abbruch der Entwicklung nach einer bestimmten Zeit das gewünschte Oberflächenprofil erhält.

Anglais

Accordingly, it is possible to design the lateral radiation dose distribution in such a way that the desired surface profile is obtained after a certain period of time following development.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Lithografisch hergestellte Stufenlinse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächenstruktur durch die Überlagerung der Strahlungsdosisverteilungen von zwei Fresnel-Zylinderlinsen mit rechtwinklig zueinander gerichteten Zylinderachsen erzeugt ist und Stufen in Form von benachbarten Stufenelementen aufweist, die in ein durch ihre rechtwinklig zueinander gerichteten Flanken gebildetes, mit zunehmendem Abstand vom Zentrum der Linse enger werdendes Gitternetz eingebettet sind, wobei die Flanken an ihren Schnittpunkten und an Punkten des Lotes vom Zentrum auf die Flanken gemeinsam mit dem Zentrum Orte gleicher Höhen bilden, und daß für jedes Stufenelement von den Orten gleicher Höhen ausgehende Höhenreduzierungen vorliegen, die innerhalb jeder Richtung senkrecht zu den Flanken und zum Rand der Linse weisend von Flanke zu Flanke gleichgroß sind und in Richtung der entferntesten, zum Rand der Linse gelegenen Schnittpunkte der Summe der von Flanke zu Flanke auftretenden Höhenreduzierungen eines Stufenelementes entsprechen.

Anglais

Lithographically produced stepped lens as claimed in Claim 1, characterised in that the surface structure is produced by the superimposition of the radiation dose distributions from two Fresnel cylindrical lens with cylinder axes directed at right angles to one another and has steps in the form of adjacent step elements which are embedded in a grid system which is formed by their flanks directed at right angles to one another and which becomes smaller with increasing distance from the centre of the lens, whereby the flanks form together with the centre locations of the same heights at their points of intersection and at points of the perpendicular from the centre to the flanks, and that for each step element, starting from the locations of the same heights, height reductions are present which are of the same size in each direction perpendicular to the flanks and to the edge of the lens pointing from flank to flank and in the direction of the most distant points of intersection positioned towards the edge of the lens correspond to the sum of the height reductions occurring from flank to flank of a step element.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß beide Strahlungsdosisverteilungen einem klassischen Linsenprofil entsprechen.

Anglais

Method as claimed in Claim 4, characterised in that both radiation dose distributions correspond to a classical lens profile.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß beide Strahlungsdosisverteilungen einem fresnelschen Linsenprofil entsprechen.

Anglais

Method as claimed in Claim 4, characterised in that both radiation dose distributions correspond to a Fresnel lens profile.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Verfahren zur Herstellung von Stufenlinsen vom fresnelschen Typ, bei dem eine Strukturierung einer Resistschicht durch Übereinanderbelichten zweier Strahlungsdosisverteilungen von Zylinderlinsen mit um einen Winkel versetzten Zylinderachsen und durch einen anschließenden Entwicklungsvorgang, bei dem ein Voranschreiten einer Entwicklungsfront in der Tiefe der Schicht gestoppt wird, erfolgt, dadurch gekennzeichent, daß von den übereinanderbelichteten Strahlungsdosisverteilungen mindestens eine einer Fresnel-Zylinderlinse entspricht.

Anglais

Method of producing stepped lenses of Fresnel type in which structuring of a resist layer is effected by superimposing two radiation dose distributions from cylindrical lenses with cylinder axes offset by an angle and by a subsequent development process in which advance of a development front in the depth of the layer is stopped, characterised in that at least one of the superimposed radiation dose distributions corresponds to a Fresnel cylindrical lens.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Lithografisch hergestellte Stufenlinse fresnelscher Oberflächenstruktur mit radialsymmetrisch oder elliptisch optischer Wirkung durch Überlagerung von Strahlungsdosisverteilungen von Zylinderlinsen mit zueinander um einen Winkel versetzten Zylinderachsen, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erzeugung der Oberflächenstruktur mindestens eine Strahlungsdosisverteilung einer Fresnel-Zylinderlinse entspricht.

Anglais

Lithographically produced stepped lens with a Fresnel surface structure with radially symmetrical or elliptical optical effect by superimposition of radiation dose distributions from cylindrical lenses with cylinder axes offset to one another by an angle, characterised in that for the purpose of producing the surface structure at least one radiation dose distribution corresponds to a Fresnel cylindrical lens.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Lagermaterial eine Probe mit einer Probendicke und einer optimalen Probendicke zur Erzeugung einer gewünschten Strahlungsdosisverteilung in der Probe ist und der Schild eine Materialdichte und eine Gesamtschilddicke hat, wobei sich die Gesamtschilddicke zwischen dem Lagermaterial und der Strahlungsquelle erstreckt, so daß die Gesamtschilddicke nach der mathematischen Gleichung bestimmt wird: Gesamtschilddicke = (optimale Probendicke - Probendicke) x (Probenmaterialdichte) Verfahren nach Anspruch 1, ferner mit dem Schritt: Vorwärmen des Lagermaterials auf zwischen 20 und 60 °C vor dessen Bestrahlung.

Anglais

The method of claim 1, wherein said bearing material is a sample having a sample thickness and an optimum sample thickness to produce a desired radiation dose distribution in the sample and said shield has a material density and a total shield thickness, said total shield thickness extending between said bearing material and said radiation source such that said total shield thickness is determined by the mathematical equation: Total Shield Thiclmess = (optimum sample thickness - sample thickness) x (sample material density) The method claim 1 further comprising the step of preheating the bearing material to between 20 and 60°C before irradiating it.

Dernière mise à jour : 2014-12-05
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Allemand

Außerdem ist es von Vorteil, wenn beide Strahlungsdosisverteilungen einem klassischen Linsenprofil entsprechen.

Anglais

Further, it is advantageous when both radiation dose distributions correspond to a classic lens profile.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Verfahren zur Herstellung von Stufenlinsen, bei dem eine Strukturierung einer Resistschicht durch Übereinanderbelichten zweier Strahlungsdosisverteilungen von Zylinderlinsen mit um einen Winkel versetzten Zylinderachsen und durch einen anschließenden Entwicklungsvorgang, bei dem ein Voranschreiten einer Entwicklungsfront in der Tiefe der Schicht gestoppt wird, erfolgt.

Anglais

The subject of the present invention is further directed to a process for the fabrication of stepped lenses in which a resist coating is structured by superimposed exposure of two radiation dose distributions of cylindrical lenses with angularly offset cylinder axes and by a subsequent development process in which a development front is stopped from progressing into the depth of the coating. 2.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch eine Lithografisch hergestellte Stufenlinse fresnelscher Oberflächenstruktur mit radialsymmetrisch oder elliptisch optischer Wirkung durch Überlagerung von Strahlungsdosisverteilungen von Zylinderlinsen mit zueinander um einen Winkel versetzten Zylinderachsen, dadurch gelöst, daß zur Erzeugung der Oberflächenstruktur mindestens eine Strahlungsdosisverteilung einer Fresnel-Zylinderlinse entspricht.

Anglais

According to the invention, this object is met by a stepped lens produced by lithography and having a Fresnel type surface structure with radially symmetrical or elliptic-optical effect brought about by superimposing radiation dose distributions of cylindrical lenses with cylinder axes which are angularly offset relative to one another in that at least one radiation dose distribution corresponds to a Fresnel type cylindrical lens for producing the surface structure.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Die Erfindung betrifft eine lithografisch hergestellte Stufenlinse fresnelscher Oberflächenstruktur mit radialsymmetrisch oder elliptisch optischer Wirkung durch Überlagerung von Strahlungsdosisverteilungen von Zylinderlinsen mit zueinander um einen Winkel versetzten Zylinderachsen.

Anglais

BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The invention is directed to a stepped lens with a Fresnel surface structure produced by lithography and with a radially symmetric or elliptic-optical effect by superimposing radiation dose proportions or distributions of cylindrical lenses with cylinder axes which are angularly offset relative to one another.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Verfahren zur Herstellung von Stufenlinsen vom fresnelschen Typ, bei dem eine Strukturierung einer Resistschicht durch Übereinanderbelichten zweier Strahlungsdosisverteilungen von Zylinderlinsen mit um einen Winkel versetzten Zylinderachsen und durch einen anschließenden Entwicklungsvorgang, bei dem ein Voranschreiten einer Entwicklungsfront in der Tiefe der Schicht gestoppt wird, erfolgt.

Anglais

The subject of the invention is further directed to a process for the manufacture of Fresnel type stepped lenses in which a resist coating is structured by superimposed exposure of two radiation dose distributions of cylindrical lenses with cylinder axes which are angularly offset and by a subsequent developing process in which a development front is stopped from progressing into the depth of the coating.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Bei einer speziellen lithografisch hergestellten Stufenlinse ist die Oberflächenstruktur durch die Überlagerung der Strahlungsdosisverteilungen von zwei Fresnel-Zylinderlinsen mit rechtwinklig zueinander gerichteten Zylinderachsen erzeugt und weist Stufen in Form von benachbarten Stufenelementen auf, die in ein durch ihre rechtwinklig zueinander gerichteten Flanken gebildetes, mit zunehmendem Abstand vom Zentrum der Linse enger werdendes Gitternetz eingebettet sind, wobei die Flanken an ihren Schnittpunkten und an Punkten des Lotes vom Zentrum auf die Flanken gemeinsam mit dem Zentrum Orte gleicher Höhen bilden.

Anglais

In a special stepped lens produced by lithography, the surface structure is produced by superimposing the radiation dose distributions of two Fresnel type cylindrical lenses with cylinder axes which are directed at right angles to one another and has steps in the form of adjacent step elements which are embedded in a grid formed by their flanks which are oriented at right angles to one another, this grid becoming more closely spaced with increasing distance from the center of the lens, wherein the flanks, together with the center, form locations of equal height at their intersections and at points on the normal line from the center to the flanks.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Vorteilhaft ist es auch, wenn beide Strahlungsdosisverteilungen einem fresnelschen Linsenprofil entsprechen.

Anglais

It is also advantageous when both radiation dose distributions correspond to a Fresnel lens profile.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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Allemand

Mindestens eine von den übereinanderbelichteten Strahlungsdosisverteilungen entspricht einer Fresnel-Zylinderlinse.

Anglais

At least one of the radiation dose distributions which are exposed one above the other corresponds to a Fresnel type cylindrical lens.

Dernière mise à jour : 2014-12-03
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