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De: Traduction automatique
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the composition of claims 2 and 3 wherein said acid generator is n-camphorsulfonyloxynaphthalimide or n-pentafluorophenylsulfonyloxynaphthalimide.
composition selon les revendications 2 et 3 dans laquelle ledit générateur d'acide est n-camphorsulfonyloxynaphtalimide ou n-pentafluorophénylsulfonyloxynaphtalimide.
Dernière mise à jour : 2014-12-04
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Qualité :
a photosensitive resist composition comprising (i) n-camphorsulfonyloxynaphthalimide and (ii) poly(4-hydroxystyrene-co-t-butylacrylate).
composition de résine photosensible comprenant (i) n-camphorsulfonyloxynaphtalimide et (ii) poly(4-hydroxystyrène-co-t-butylacrylate).
Dernière mise à jour : 2014-12-04
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