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a sensor comprises a semiconductor pellet (10) having member (11) which receives the action of a force, a stationary member (13) fixed to the sensor body and a flexible portion (12) formed between the two members (11) and (13); a member (20) for transmitting the force to the member (11); and detection means (60-63) which convert the mechanical deformation of a distortion-producing member due to the transmitted force into an electric signal in order to detect the force acting on the member (20) as an electric signal. this sensor is combined with a signal processor, which comprises analog multipliers (101-109) and analog adder/substracters (111-113), and has a function for cancelling the interference in the different directions in which the forces are exerted. in the sensor are provided two portions (e3, e4-e8) that are located at opposing positions and that produce displacement between them due to the action of a force. the sensor is tested by applying the coulomb force between the two. further, seats (21, 22) are provided to surround the action member (20). a predetermined gap is formed between the member (20) and the seats, and the displacement of the member (20) is limited within a predetermined range that corresponds to the gap. the member (20) and the seats are obtained by cutting the same common substrate (350, 350').
l'invention se rapporte à un capteur, qui comprend une pastille à semi-conducteur (10) comportant un élément (11) recevant l'action d'une force, un élément fixe (13) fixé au corps du capteur et une partie flexible (12) formée entre les deux éléments (11) et (13); un élément (20) servant à transmettre la force à l'élément (11); ainsi qu'un organe de détection (60-63) qui convertit la déformation mécanique d'un élément générateur de distorsions, due à la force transmise, en un signal électrique, de façon à ce que la force agissant sur l'élément (20) puisse être détectée sous la forme d'un signal électrique. ce capteur est combiné à un processeur de signaux, qui comprend des multiplicateurs analogiques (101-109) et des additionneurs/soustracteurs analogiques (111-113), et il comprend une fonction d'effacement des interférences dans les différentes directions dans lesquelles s'exercent les forces. dans le capteur sont prévues deux parties (e3, e4-e8) qui sont placées dans des positions opposées et qui produisent un déplacement entre elles dû à l'action d'une force. on teste ce capteur en appliquant une force de coulomb entre ces deux parties. sont en outre prévues des embases (21, 22) qui entourent l'élément (20) sur lequel agit la force. un espace libre prédéterminé est ménagé entre l'élément (20) et les embases et le déplacement de l'élément (20) est limité à l'intérieur d'une plage prédéterminée qui correspond à l'espace libre. on fabrique l'élément (20) et les embases par découpage du même substrat commun (350, 350').
