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dépôt d'une couche atomique d'oxyde de strontium par le biais d'un précurseur de n-propyltétraméthylcyclopentadiényl
atomic layer deposition of strontium oxide via n-propyltetramethyl cyclopentadienyl precursor
Dernière mise à jour : 2011-07-27
Fréquence d'utilisation : 1
Qualité :
composition de catalyseur selon la revendication 1, dans laquelle le complexe cyclopentadiényl est le diméthyl (pentaméthylcyclopentadiényl) aluminium, b-(pentaméthylcyclopentadiényl) catécholborane, bis(pentaméthylcyclopentadiényl) magnésium, ou bis(n-propyltétraméthylcyclopentadiényl) baryum.
the catalyst composition according to claim 1 wherein said cyclopentadienyl complex is dimethyl(pentamethylcyclopentadienyl) aluminum, b-(pentamethylcyclopentadienyl) catecholborane, bis(pentamethylcyclopentadienyl) magnesium, or bis(n-propyltetramethylcyclopentadienyl) barium.
Dernière mise à jour : 2014-12-04
Fréquence d'utilisation : 2
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