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mit eingebautem monitor zur rechnergesteuerten Überwachung der abscheiderate bei einer schicht aus zwei oder mehreren elementen, wobei das verfahren auf dem prinzip der fotolumineszenz der ionisierten atome im dampfstrahl beruht;
un indicatore di velocità basato su calcolatore funzionante sul principio della fotoluminescenza degli atomi ionizzati nel flusso evaporante per controllare la velocità di deposizione di uno strato contenente due o più elementi;
最終更新: 2017-02-20
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