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bestimmte maschinen und apparate zum herstellen von monolithischen integrierten schaltungen oder von diskreten halbleiterbauelementen (durch herstellen, bearbeiten und zerteilen von wafern), wie z.b. kristall ziehanlagen zum synthetischen herstellen von siliciumstaben.
c. taluni apparecchi e macchine per la realizzazione di circuiti integrati monolitici o di componenti discreti con funzione di semiconduttori (con fasi successive di produzione, lavorazione, taglio di wafers), ad esempio gli impianti per la deformazione plastica dei cristalli per la produzione di barre di silicio.