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de plus, la technique de dépôt doit être reproductible, facile à mettre en oeuvre et adaptée aux cadences élevées de production en série.
in addition, the deposition procedure must be reproducible, easy to perform and appropriate for high mass production rates.
le pliage effectué, associé à une configuration spécifique des spires, permet donc de mettre en parallèle des groupes de deux spires en série.
the folding carried out, associated with a specific configuration of the turns, hence makes it possible to parallel groups of two turns in series.
appareil selon les revendications 3 à 5, caractérisé par un multiplexeur (42) pour mettre en série les signaux de sortie du décodeur (40).
apparatus according to claims 3 to 5 characterised by a multiplexer 42 for serialising the outputs of the decoder (40).
procédé de fabrication en série d'un film de silicium microcristallin en couches minces et dispositif pour mettre en pratique ce procédé
process for forming a microcrystalline silicon series thin film and apparatus suitable for practicing said process