검색어: metallisierungsstruktur (독일어 - 영어)

diffusionsbarriereerhöhung in der metallisierungsstruktur für halbleiteranordnungsherstellung.
diffusion barrier enhancement in metallization structure for semiconductor device fabrication.

mehrschichtige metallisierungsstruktur mit einem iva-metall
multilayer metallization structure comprising a group iva metal

programmierbare metallisierungsstruktur mit oberflÄchennaher verfestigung undherstellungsverfahren dafÜr
programmable sub-surface aggregating metallization structure and method of making same

metallisierungsstruktur auf einem fluorhaltigen dielektrikum und herstellungsverfahren dafür
a metallization structure on a fluorine-containing dielectric and a method for fabrication thereof

verfahren zur herstellung einer mehrlagigen metallisierungsstruktur für integrierte schaltungen
process for producing multilevel metallization in an integrated circuit

metallisierungsstruktur zur kontaktherstellung für eine halbleitervorrichtung und vorrichtung mit einer solchen struktur.
metallisation structure for making contacts with a semiconductor device, and device comprising such a structure.

verfahren zur herstellung einer integrierten schaltungsstruktur mit einer dicht mehrschichtigen metallisierungsstruktur.
method for producing an integrated circuit structure with a dense multilayer metallization pattern.

verfahren zum auffüllen von verbindungs- oder kontaktlöchern in einer mehrlagigen vlsi-metallisierungsstruktur.
method filling interlevel dielectric via or contact holes in multilevel vlsi metallization structures.

metallisierungsstruktur nach anspruch 5, wobei der me-gehalt der kupfer-me legierungsschicht (40) nicht mehr als 1 atomprozent beträgt.
a metallized structure as set forth in claim 4 wherein the me content of the copper-me alloy layer (40) is no more than 2 atomic percent.