검색어: schaltungsschicht (독일어 - 영어)

kontaktstruktur einer auf stufenoberflächen angebrachten schaltungsschicht und sram mit mehrschichtigen verschaltungen und verfahren zu seiner herstellung.
contact structure of an interconnection layer placed on a surface having steps and sram having a multilayer interconnection and manufacturing method thereof.

verfahren zur herstellung von via-verbindungen mit geringem widerstand aus aluminium, verbunden mit einer darüberliegenden schaltungsschicht aus metall für integrierte schaltungsstruktur.
process for forming low resistance aluminum plug in via electrically connected to overlying patterned metal layer for integrated circuit structures.