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polierpaste zum polieren eines lsi
composition abrasive pour le polissage de composants lsi

dosierpistole, insbesondere zur abgabe von polierpaste
pistolet de dosage en particulier pour la distribution de pâte à polir

polierpaste fÜr lsi-fertigung und lsi-herstellungsmethode
composite de polissage destine a etre utilise dans la fabrication des circuits lsi, et procede de fabrication de circuits lsi

verwendung von schleifkörnern nach einem der ansprüche 1 bis 9 für das spritzpolieren oder die herstellung von polierpaste.
utilisation de grains abrasifs selon l'une des revendications 1 à 9 pour le polissage par projection ou la fabrication de pâte à polir.

verfahren nach anspruch 12, bei dem rand (38) anschließend unter verwendung eines schleifriemens oder einer scheibe, einer polierpaste, einer flamme oder eines lasers poliert wird.
procédé selon la revendication 12, dans lequel le bord (38) est ensuite poli en utilisant une bande ou un disque abrasif, une pâte à polir, une flamme ou un laser.

dosierpistole (1), insbesondere hochdruckdosierpistole zum versprühen eines mediums wie polierpaste, mit einem von einem gehäuse (2) ausgehenden kartuschenkörper (18, 100), einem ventilkörper (30, 102) und einem zugeordneten ventilsitz (54), die entgegen einer kraft eines federelementes (42, 76) relativ zueinander verschiebbar sind, wenn in einer zwischen dem ventilsitz und dem ventilkörper vorhandenen ersten arbeitskammer (51) ein hinreichender druck durch das medium erfolgt ist, eine vorzugsweise von einer Überwurfmutter (56, 83) gehaltenen düse (58, 111), die gegebenenfalls zur beimengung von druckluft mit auslaßkanälen (59) verbunden oder von diesen umgeben ist, dadurch gekennzeichnet , daß der ventilkörper (30, 102) zumindest abschnittsweise von einem führungshohlzylinder (48) umgeben ist, daß der ventilkörper und der führungshohlzylinder relativ zueinander verschiebbar sind, daß zwischen dem führungshohlzylinder und der düse (58, 111) ein den ventilsitz (54) aufweisendes ventilelement (53) festgelegt ist und daß zwischen dem führungshohlzylinder oder einem mit diesem verbundenen element und einem den ventilkörper haltenden oder von diesem ausgehenden element (18, 75) eine weitere arbeitskammer (45, 78) angeordnet ist, die zur relativen verschiebbarkeit des ventilkörpers zu dem ventilelement (53) mit druckluft beaufschlagbar ist, wobei die weitere arbeitskammer mit den auslaßkanälen (59) verbunden ist.
pistolet doseur (1), en particulier, pistolet doseur à haute pression pour pulvériser un produit tel qu'une pâte à polir, avec un corps de cartouche (504) placé dans un boítier (502), un corps de vanne (18, 100) partant d'un boítier (2), un corps de vanne (30, 102) et un siège de vanne correspondant (54) qui peuvent coulisser relativement les uns aux autres à l'encontre de la force d'un élément élastique (42, 76) si une pression suffisante est créée par le produit dans une première chambre de travail (51) existant entre le siège de vanne et le corps de vanne, une busette (58, 111) maintenue, de préférence, par un écrou à chapeau (56, 83) qui est connectée éventuellement à des canaux de sortie (59) pour assurer le mélange avec de l'air comprimé ou qui est entourée par ces canaux, caractérisé en ce que le corps de vanne (30, 102) est entouré, au moins partiellement, par un cylindre creux de guidage (48), en ce que le corps de vanne et le cylindre creux de guidage peuvent coulisser l'un par rapport à l'autre, en ce qu'un élément de vanne (53) présentant le siège de vanne (54) est fixé entre le cylindre creux de guidage et la busette (58, 111) et en ce que, entre le cylindre creux de guidage ou un élément assemblé à celui-ci et un élément (18, 75) maintenant le corps de vanne ou partant de celui-ci, est disposée un autre chambre de travail (45, 78) qui peut être soumise à l'action de l'air comprimé pour provoquer le coulissement relatif du corps de vanne par rapport à l'élément de vanne (53) lorsque l'autre chambre de travail est connectée aux canaux de sortie (59).