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a vacuum plasma processor includes a chamber having a grounded wall and an outlet port.
la présente invention a trait à un appareil de traitement au plasma sous vide comportant une enceinte présentant une paroi de mise à la terre et un orifice de sortie.
the resulting power combiner which has a grounded outlet cpw is thus provided with two floating differential inputs.
le combineur de puissance obtenu qui dispose d'un guide d'onde coplanaire cpw de sortie à la masse est ainsi pourvu de deux entrées différentielles flottantes.