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scrubber using mesh filter and apparatus for exhaust gas treatment in semiconductor fabrication equipments using the same
Épurateur utilisant un filtre À tamis et appareil pour traitement d'effluents gazeux dans des Équipements de fabrication de semi-conducteurs utilisant cet Épurateur
a stack of adjacently disposed outer filter screens are mounted in the gas chamber outwardly of the fine mesh filter screens
une pile d'écrans filtres extérieurs disposés de manière adjacente est montée dans la chambre gazeuse, à l'extérieur des écrans filtres à mailles fines
a stack of adjacently disposed outer filter screens are mounted in the gas chamber outwardly of the fine mesh filter screens.
une pile d'écrans filtres extérieurs disposés de manière adjacente est montée dans la chambre gazeuse, à l'extérieur des écrans filtres à mailles fines.