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a projection optical system in which oob irradiation dose on a wafer is reduced while degradation in optical characteristics is suppressed
un système optique de projection dans lequel une dose d'irradiation oob sur une tranche est réduite tandis qu'une dégradation en termes de caractéristiques optiques est supprimée
a projection optical system in which oob irradiation dose on a wafer is reduced while degradation in optical characteristics is suppressed.
la présente invention concerne un système optique de projection dans lequel une dose d'irradiation oob sur une tranche est réduite tandis qu'une dégradation en termes de caractéristiques optiques est supprimée.
the oob condition can be characterized by excursions, during the spin cycle, of the tub which encloses the washer basket
l'état de déséquilibre peut être caractérisé par des vibrations, pendant le cycle de rotation, de la cuve de lavage renfermant le tambour