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bld.
blv.

155, bld.
bld.

111 bld robespierre
111 bd robespierre,

97, bld adolphe max
97, bd. adolphe max

bld d'herseaux 109
boulevard d'herseaux 109

bld emile jacqmain 155
bd. emile jacqmain 155

bld henri cahn, bp 27
bld henri cahn, bp 27

bld du roi albert ii 5
25/28 adelaide road

5, bld du roi albert ii
bld du roi albert ii, 5

bld Émile jacqmain, 155 - bte 8
emile jacqmain, 155 - boîte 8

5, bld du roi albert ii (7ème étage)
5, bld du roi albert ii (7. stock)

novartis santé familiale s. a. s., 14 bld richelieu
herrn lours

appareil d'exposition dans lequel un substrat est exposé à une énergie d'exposition à travers un original (msk) pour transférer un motif (ptn) de l'original sur le substrat, comprenant: au moins une unité d'alignement (aau) pour détecter une relation de position relative entre l'original et le substrat, en utilisant une marque d'alignement (amk); une unité d'étage (stg) pour déplacer ladite unité d'alignement le long du plan de l'original; et une lame (bld) pour limiter l'énergie d'exposition, disposée en une position plus proche de la position dans laquelle l'énergie d'exposition est émise que de ladite unité d'alignement, caractérisé en ce que ladite lame est montée de manière amovible sur l'unité d'alignement pour se déplacer avec celle-ci.
belichtungsvorrichtung, bei welcher ein substrat durch eine vorlage (msk) hindurch einer belichtungsenergie ausgesetzt wird, um ein muster (ptn) der vorlage auf das substrat zu übertragen, mit mindestens einer ausrichtungseinheit (aau), um unter verwendung einer ausrichtungsmarke (amk) eine relative positionsbeziehung zwischen der vorlage und dem substrat zu erfassen, einer tischeinheit (stg) zur verschiebung der ausrichtungseinheit längs einer ebene der vorlage, und einem schild (bld) zum einschränken der belichtungsenergie, der in einer position angeordnet ist, welche näher als die ausrichtungseinheit an einer position ist, in welcher die belichtungsenergie emittiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß der schild bewegbar an der ausrichtungseinheit befestigt ist, um mit dieser bewegt zu werden.