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enceinte annulaire sous vide
ring-shaped vacuum vessel

i.3.- enceinte sous vide
vacuum chamber

constituant une enceinte sous vide
composing a vacuum chamber

comprenant une enceinte sous vide, un absorbeur
comprising: an evacuated envelope; an absorber

un tel réacteur comprend une enceinte sous vide 53.
such a reactor includes an enclosure under vacuum 53 .

ces électrodes sont placées dans l'enceinte sous vide 6.
these electrodes are placed in the chamber 6 under vacuum.

un tel réacteur est constitué d'une enceinte sous vide 1.
such a reactor is made of a vacuum enclosure 1.

en communication entre le plasma et une première enceinte sous vide
and communicates between the plasma and a first vacuum enclosure

un système et procédé de traitement de substrats dans une enceinte sous vide
a system and method for handling substrates in a vacuum chamber

. 10 l'enceinte sous vide est partiellement délimitée par une pièce creuse
() this vacuum enclosure is partially delimited by a hollow part

, comprenant une phase d'injection, dans laquelle l'enceinte sous vide
, having an injection phase, in which the vacuum chamber

pouvant être évacuée conjointement avec ceux-ci est utilisée dans un enceinte sous vide
which may be evacuated jointly therewith is implemented inside a vacuum chamber

le premier conducteur est disposé à l'intérieur de l'enceinte sous vide
the first conductor is disposed within the vacuum chamber

l'espace intérieur du boîtier 42 fait partie de l'enceinte sous vide.
the internal space of the casing 42 is part of the vacuum enclosure.

des éléments d'émission d'électrons sont montés dans l'enceinte sous vide
electron emitting elements are provided in the vacuum enclosure

dispositif a vis utilise pour transferer de la boue reactionnelle contenant du ti dans une enceinte sous vide
screw device for transfer of ti-containing reaction slurry into a vacuum vessel

le dispositif de pulvérisation avec cibles face à face de la présente invention comporte une enceinte sous vide
an opposing target type sputter device comprising a vacuum container

la présente invention a trait à une enceinte sous vide de petite dimension ne nécessitant pas de sas.
a small-sized vacuum chamber requiring no load lock chamber.

méthode de fabrication d'un écran à émission de champ utilisant une enceinte sous vide
vacuum vessel, its method of manufacture, and electron emission display using the vacuum vessel

dispositif pour générer un plasma froid dans une enceinte sous vide et utilisation du dispositif pour des traitements thermochimiques
a device for generating a cold plasma in a vacuum chamber and to the use of said device for thermo-chemical processing