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phosphosilicate
phosphosilikat

phosphosilicate fibre
phosphorsilikaglasfaser

phosphosilicate glass ceramics containing leucite
leucithaltige phosphosilikat-glaskeramik

deposition of planarizing phosphosilicate glass dielectric
deposition von phosphosilikatglas als planarisierendem dielektrikum

method of forming phosphosilicate glass films.
verfahren zum niederschlagen von phosphorsilikatglasfilmen.

fabrication of semiconductor devices using phosphosilicate glasses
verfahren zur herstellung halbleiteranordnungen unter verwendung von gläsern aus phosphosilikaten

process for the formation of phosphosilicate glass coating.
verfahren zum niederschlagen von phosphorsilikatglasschichten.

amorphous zirconium phosphosilicate and a process for preparing the same.
amorphes zirkonium-phosphosilikat und verfahren zu seiner herstellung.

end-point detection in plasma etching of phosphosilicate glass
verfahren zur endpunktbestimmung eines plasmaätzverfahrens von phosphosilikatglas

method of forming phosphosilicate glass having a high wet-etch rate
verfahren zum herstellen von phosphosilikatglas mit einer hohen nassÄtzgeschwindigkeit

method of inducing flow or densification of phosphosilicate glass for integrated circuits.
verfahren zur beeinflussung des fliessens oder des verdichtens von phosphosilikatglas für integrierte schaltungen.

fully integrated thermal inkjet printhead having etched back phosphosilicate glass layer
vollintegrierter thermischer tintenstrahldruckkopf mit einer rückgeätzten phosphosilikatglasschicht

a method according to claim 1, characterized in that the film (4) is made of phosphosilicate glass.
verfahren nach anspruch 1,, dadurch gekennzeichnet, daß der film (4) aus phosphorsilikatglas hergestellt ist.

additionally o2 is induced in a second access. from combination of both gases a phosphosilicate glass is build up at the wafer surface.
aus den beiden gasen bildet sich ein phosphorsilicatglas auf der oberfläche der wafer. phosphoratome diffundieren aus diesem in das silizium und bilden den emitter.

boron aluminum phosphates and boron aluminum phosphosilicates for electronic packaging.
boraluminiumphosphate und boraluminiumphosphosilicate fÜr elektronische bauteile.