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monochromated by a filter onto a film
monochromée par un filtre sur un film

4: a continuously monochromated component; ten of these detectors are mounted on a movable segment above and at a
1) spectre d'un faisceau incident continu; 2) réflexions de laue à partir d'un faisceau incident puisé; 3) spectre d'un faisceau incident puisé ; 4) composant monochromatisé en continu; 5) intensité réfléchie fournie par un composant monochromatique.

a film thickness acquiring method which acquires the in-plane distribution of the thickness of a thin film provided on a flat plate by a simple structure, and which shines an irradiation light (4) from a chromatic light sources (3) or a light source (3) monochromated by a filter onto a film (2) to be measured formed on a substrate (1), measures a reflection light (5) undergone interference from the film (2) by a light receiving device (6) while the incident angle of the irradiation light (4) to the main surface of the film (2) is being changed stepwise, and acquires the thickness of the film (2) from those incident angles of the irradiation light (4) that maximizes and minimizes the varying light receiving intensity of the measured reflection light (5).
l'invention concerne une méthode d'acquisition d'épaisseur de film permettant d'acquérir la distribution dans le plan de l'épaisseur d'un film mince situé sur une plaque plate, par une structure simple, et permettant d'envoyer une lumière irradiante (4) à partir d'une source lumineuse chromatique (3) et d'une source lumineuse (3) monochromée par un filtre sur un film (2) à mesurer formé sur un substrat (1), permettant de mesurer une interférence subie par une lumière réfléchissante (5), à partir du film (2), par un dispositif de réception de lumière (6), pendant que l'angle d'incidence de la lumière irradiante (4) sur la surface principale du film (2) change par étape, et permettant d'acquérir l'épaisseur de film (2) à partir des angles d'incidence de la lumière irradiante (4) maximisant et minimisant l'intensité de réception de lumière variable de la lumière réfléchissante mesurée (5).