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verfahren zur herstellung keramischer dickschichtelement-arrays mit feiner strukturgrösse, hochpräziser definition und/oder hohen aspektverhältnissen
a method for forming ceramic thick film element arrays with fine feature size, high-precision definition, and/or high aspect ratios

für die herstellung filigraner strukturen mit mittleren bis hohen aspektverhältnissen, wie sie durch die zu fertigenden bauteile vorgegeben sind, müssen fünfachsige mikrofrässtrategien eingesetzt werden.
to produce filigree structures with high aspect ratios, as they are determined by the parts to be manufactured, five-axis micromilling strategies have to be used. five-axis machining has not been extensively studied so far.

im rahmen eines derartigen elektrochemischen Ätzens können sacklöcher bzw. poren mit aspektverhältnissen von beispielsweise 1 zu 300 und mehr in einer im wesentlichen regelmäßigen anordnung in silizium geätzt werden.
in the scope of such electrochemical etching, blind holes or pores with an aspect ratio of for example 1 to 300 or more may be etched in an essentially regular arrangement in silicon.

damit kann die form der elektrode auch bei hohen aspektverhältnissen sehr genau im werkstück abgebildet werden. das erodieren wird deshalb insbesondere für die herstellung von komplexen, hochgenauen innengeometrien oder formbohrungen eingesetzt.
this allows for the desired shape to be obtained even for high aspect ratios. edm is therefore particularly suitable for the production of complex and highly accurate internal geometries or shaped cooling air holes.

die technik wird zur erhöhung des aspektverhältnisses eingesetzt.
the technique can be used to increase the aspect ratio.