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elektronenstrahleinrichtung
dispositif de rayonnement electronique

elektronenstrahleinrichtung und diese verwendendes halbleiterbausteinherstellungsverfahren
dispositif a faisceau d'electrons et procede de production de dispositifs a semi-conducteur utilisant ledit dispositif a faisceau d'electrons

elektronenstrahleinrichtung gemäß anspruch 3, bei der die apertur (13) eine punktform oder eine schlitzform aufweist.
dispositif de faisceau d'électrons selon la revendication 3, dans lequel l'ouverture (13) comporte une forme de point ou une forme de fente.

elektronenstrahleinrichtung, elektronenstrahl-untersuchungsverfahren,elektronenstrahl-untersuchungseinrichtung, musteruntersuchungsverfahren und verfahren zur bestimmung des belichtungszustands
dispositif a faisceau electronique, procede d'inspection a faisceau electronique, dispositif d'inspection a faisceau electronique, procede d'inspection de configurations et procede de determination de conditions d'exposition

elektronenstrahleinrichtung gemäß einem der ansprüche 1 bis 2, wobei eine apertur (13) an oder nahe der zweiten ablenkstufe vorgesehen ist.
dispositif de faisceau d'électrons selon l'une des revendications 1 à 2, dans lequel une ouverture (13) est disposée à ou à proximité du second étage de déflexion.

elektronenstrahleinrichtung gemäß anspruch 1, bei der der innere raum des gehäuses mit einer pumpeinrichtung verbunden ist, die dazu eingerichtet ist, den inneren raum des gehäuses zu evakuieren.
dispositif de faisceau d'électrons selon la revendication 1, dans lequel l'espace intérieur du logement est raccordé à un dispositif de pompage qui est adapté à l'évacuation de l'espace interne du logement.

rheed-messsystem, das eine elektronenstrahleinrichtung gemäß einem der vorhergehenden ansprüche, einen probenhalter zum tragen einer probe, die untersucht werden soll, und eine detektoreinrichtung zum detektieren gebeugter elektronen umfasst.
système de mesure rheed comprenant un dispositif de faisceau d'électrons selon l'une des revendications précédentes, un support d'échantillon destiné à maintenir un échantillon à examiner et un dispositif détecteur pour détecter les électrons diffractés.

dazu wird eine streuschicht (4) gebildet, die - ggf. mit vorverdichtung in einer vorpresse (5) - in einer pressvorrichtung (16) endverdichtet und dann mittels einer elektronenstrahleinrichtung (22) schlagartig ausgehärtet wird.
a cet effet, on forme une couche de diffusion (4) qui subit un compression finale dans un dispositif de pressage (16), le cas échéant après une précompression dans une presse préliminaire (5), puis cette couche (4) est durcie brutalement au moyen d'un dispositif de bombardement électronique (22).