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verfahren gemäß anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass ein ultraschallwellengenerator verwendet wird, der durch elektrizität versorgt wird, welche durch die kraftwärmekopplung geliefert wird.
procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce qu' on utilise un générateur d'ondes ultrasoniques alimenté par l'électricité fournie par la cogénération.
Последнее обновление: 2014-12-03
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beschrieben wird ein verfahren zur untersuchung einer probenoberfläche mittels eines rasterkraftmikroskops (rkm), das einen über eine längserstreckung verfügenden federbalken aufweist, längs dessen eine messspitze angebracht ist, die über steilmittel relativ zur probenoberfläche gezielt angeordnet und deren räumliche lage mit einer sensoreinheit erfasst wird, sowie wenigstens einen ultraschallwellengenerator vorsieht, der mit einer vorgebbaren anregungsfrequenz eine schwingungsanregung zwischen der probenoberfläche und dem federbalken, dessen messspitze in kontakt mit der probenoberfläche gebracht wird, derart initiiert, dass die messspitze in lateral zur probenoberfläche und orthogonal zur längserstreckung des federbalkens orientierte oszillationen angeregt wird und dass in dem federbalken sich ausbildende torsionsschwingungen erfasst und mittels einer auswerteeinheit analysiert werden.
l'invention concerne un procédé pour examiner la surface d'échantillons au moyen d'un microscope à balayage (meb) comportant une poutre flexible à extension longitudinale, dont la pointe de mesure longitudinale est disposée avec précision relativement à la surface d'un échantillon au moyen d'un dispositif de fixation, la position spatiale de cette pointe de mesure étant saisie par une unité de détection. le microscope est également pourvu d'au moins un générateur d'ultrasons qui amorce une oscillation à une fréquence d'excitation donnée entre la surface de l'échantillon et la poutre flexible, dont la pointe de mesure est en contact avec la surface de l'échantillon, de sorte que les oscillations conférées à la pointe de mesure sont orientées latéralement à la surface de l'échantillon et perpendiculairement à la longueur de la poutre flexible. les oscillations de torsion de la poutre flexible sont saisies et analysées au moyen d'une unité d'évaluation.
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