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il est utilisé dans le traitement des cristaux d'arséniure de gallium (employés dans les téléphones mobiles, les lasers, etc.), comme agent de dopage dans les plaquettes de silicium et pour la fabrication de l'arsine gazeux (h3as), qui sert à produire les matériaux des superréseaux et les circuits intégrés hautes performances.
se utiliza para el procesamiento de cristales de arseniato de galio (como teléfonos móviles, aparatos láser, etc.), como agente impurificador en plaquetas de silicio y para fabricar gas arsina (h3as), que se utiliza para confeccionar materiales superreticulados y circuitos integrados de alto rendimiento.