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apparatur nach anspruch 1 oder anspruch 2, wobei eine der stufen (12b) eine molekularpumpenstufe ist.
dispositif selon la revendication 1 ou la revendication 2, dans lequel l'un des étages (12b) comprend un étage moléculaire mécanique.

verbundvakuumpumpe nach anspruch 1, wobei die mehrkanalige molekularpumpenstufe eine holweck-stufe mit einer mehrzahl von als mehrzahl von schraubenlinien angeordneten kanälen ist.
pompe à vide hybride selon la revendication 1, dans laquelle l'étage moléculaire multicanaux est un étage holweck avec une pluralité de canaux agencés sous forme d'une pluralité d'hélices.

verbundvakuumpumpe nach anspruch 4, wobei die pumpe mindestens einen zusätzlichen einlaß aufweist, durch welchen strömungsmittel sowohl durch die turbomolekularstufen als auch die molekularpumpenstufe zum auslaß gelangen kann.
pompe à vide hybride selon la revendication 4, dans laquelle la pompe possède au moins une entrée supplémentaire, à travers laquelle un fluide traversera à la fois les étage turbomoléculaires et l'étage moléculaire en direction de la sortie.

pumpe nach einem der vorhergehenden ansprüche in form einer hybridpumpe mit einer regenerativen stufe (1) zusammen mit einer molekularpumpenstufe (2).
pompe selon l'une quelconque des revendications précédentes, qui se présente sous la forme d'une pompe hybride comprenant un étage régénérateur (1) en même temps qu'un étage moléculaire (2).

pumpe nach anspruch 6, wobei die molekularpumpenstufe (2) eine holweg-stufe mit abwechselnden feststehenden (23, 24, 25) und umlaufenden (26, 27, 28) zylindern ist.
pompe selon la revendication 6, dans laquelle l'étage moléculaire (2) est un étage holweck comprenant des cylindres stationnaires (23, 24, 25) et tournants (26, 27, 28) alternés.