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einrichtung nach anspruch 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet , daß die verstärkungselemente sekundärelektronenvervielfacher sind.
dispositif selon les revendications 2 à 6, caractérisé en ce que lesdits éléments d'amplification sont des multiplicateurs des électrons secondaires.
verwendung nach einem der ansprüche 4 und 5, wobei das beobachtungssystem einen mehrkanal-sekundärelektronenvervielfacher verwendet.
utilisation telle que revendiquée dans l'une quelconque des revendications 4 à 5, dans laquelle ledit système d'observation utilise un multiplicateur d'électrons secondaire à canaux multiples.
ein verfahren nach anspruch 5, wobei das dynamische kompressionsverfahren derart gestaltet ist, daß das komprimierte, digitale kanalsignal bezüglich einer nichtlinearen räumlichen gewichtung der sekundärelektronenvervielfacher korrigiert wird.
le procédé selon la revendication 5, dans lequel la procédure de compression dynamique est telle que le signal de canal numérique compressé est corrigé pour prendre en compte des pondérations spatiales non linéaires des photomultiplicateurs.