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beschleunigungssensor nach einem der ansprüche 5, 6, 7 oder 8, wobei mindestens ein oberer oberflächenbereich des verformungserzeugungskörpers durch ein leitendes material gebildet ist, so dass der obere oberflächenbereich als die untere elektrode fungiert.
capteur d'accélération selon l'une quelconque des revendications 5, 6, 7 ou 8, dans lequel au moins une partie de surface supérieure du corps générateur de déformations est constituée d'un matériau conducteur de telle sorte que ladite partie de surface supérieure fonctionne comme électrode inférieure.

beschleunigungssensor nach einem der ansprüche 5, 6 oder 7, wobei eine ringförmige nut (65), um eine umgebung des ursprungs zu umgeben, an einer unteren oberfläche des verformungserzeugungskörpers gebildet ist, wobei bewirkt wird, dass eine dicke eines bereichs (62) des verformungserzeugungskörpers, wo die ringförmige nut gebildet ist, dünner ist als die dicke anderer bereiche und der an dicke dünne bereich als ein flexibler bereich verwendet wird.
capteur d'accélération selon l'une quelconque des revendications 5, 6 ou 7, dans lequel une rainure annulaire (65) pour entourer une périphérie de l'origine est formée sur une surface inférieure du corps générateur de déformations, une épaisseur d'une partie (62) du corps générateur de déformations dans laquelle ladite rainure annulaire est formée est plus fine qu'une épaisseur des autres, et la partie d'épaisseur fine est utilisée comme partie flexible.