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Élément ce sr ba fe p hg mg as v na mo al be ca zn cu sb ag pb bi ti cd co ni w la k mn rb
element ce sr ba fe p hg mg as v na mo al be ca zn cu sb ag pb bi ti cd co ni w la k mn rb cr

source: sbs, année: 1998 (sauf no, se, te, be, es: 1997)
source: sbs, year: 1998 (except no, se, ie, be, es: 1997)

procédé selon la revendication 1, dans lequel l'atome de métal divalent est choisi entre be, ca, ba, sr, mg, cd, zn et hg.
the process of claim 1, wherein the divalent metal atom is selected from be, ca, ba, sr, mg, cd, zn and hg.

cette invention se rapporte à une cible de dépôt physique en phase vapeur contenant du cuivre et au moins deux éléments additionnels choisis parmi ag, al, as, au, b, be, ca, cd, co, cr, fe, ga, ge, hf, hg, in, ir, li, mg, mn, nb, ni, pb, pd, pt, sb, sc, si, sn, ta, te, ti, v, w, zn et zr, la quantité totale de ces deux éléments additionnels ou plus étant comprise entre 100 ppm et 10 % en nombre d'atomes. cette invention concerne en outre des films minces et des interconnexions qui contiennent ce mélange de cuivre et au moins deux éléments ajoutés. cette invention consiste également à former une cible contenant du cuivre. un mélange de cuivre et de deux éléments ou plus est ainsi formé. ce mélange est coulé par fusion puis il est refroidi de façon à former une billette qui est travaillé par extrusion angulaire à canaux égaux et/ou par traitement thermomécanique, en vue de former une cible.
the invention includes a physical vapor deposition target containing copper and at least two additional elements selected from ag, al, as, au, b, be, ca, cd, co, cr, fe, ga, ge, hf, hg, in, ir, li, mg, mn, nb, ni, pb, pd, pt, sb, sc, si, sn, ta, te, ti, v, w, zn and zr, a total amount of the at least two additional elements being from 100 ppm to 10 atomic %. the invention additionally includes thin films and interconnects which contain the mixture of copper and at least two added elements. the invention also includes forming a copper-containing target. a mixture of copper and two or more elements is formed. the mixture is cast by melting and is subsequently cooled to form a billet which is worked utilizing one or both of equal channel angular extrusion and thermornechanical processing to form a target.