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a cold cathode ion gauge is provided that is suitable for use in a high vacuum and in the presence of contaminating gases
l'invention concerne une jauge ionique à cathode froide (ccig) appropriée pour être utilisée sous un vide très poussé et en présence de gaz de contamination
a cold cathode ion gauge is provided that is suitable for use in a high vacuum and in the presence of contaminating gases.
l'invention concerne une jauge ionique à cathode froide (ccig) appropriée pour être utilisée sous un vide très poussé et en présence de gaz de contamination.
the ion gauge measures the level of ions in the fuel by measuring a voltage across a section of fuel or a current through the same section.
la jauge ionique assure la mesure du niveau d'ions dans le combustible par la mesure d'une tension à travers une section de combustible ou un courant à travers la même section.
a solid state compact ion gauge includes an inlet, a gas ionizer, and a detector all formed within a cavity in a semiconductor substrate.
l'invention concerne une jauge ionique compacte à semiconducteurs, qui comprend une entrée, un ioniseur de gaz et un détecteur, tous ménagés à l'intérieur d'une cavité dans un substrat semiconducteur.