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de tabel verwijst uitsluitend naar afzetting door sputteren met een triode, magnetron of naar reactief sputteren, welke methoden worden toegepast om de hechting van de bekleding en de afzetsnelheid te vergroten, en naar hoogfrequent (rf) versterkte afzetting door sputteren, wat wordt toegepast om de verdamping van niet-metaalhoudende bekledingsmaterialen mogelijk te maken.
anmerkung 1: die tabelle bezieht sich ausschließlich auf das abscheiden mittels trioden- oder magnetronanlagen oder reaktivem aufstäuben, wodurch die haftfestigkeit der schicht und die beschichtungsrate erhöht werden, sowie auf das beschleunigte aufstäuben mittels einer am target anliegenden hf-spannung, wodurch nichtmetallische schichtwerkstoffe zerstäubt werden können.