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feststoff-abscheidevorrichtung, kompaktanlage und abscheideverfahren
solid separating apparatus, compact assembly, and separating method

mikrowellengespeistes abscheideverfahren mit regelung der substrattemperatur.
microwave energized deposition process with substrate temperature control.

lichtemitierendes halbleiterbauelement und lichtunterstütztes abscheideverfahren zu seiner herstellung.
light emitting semiconductor device and light enhanced deposition method for fabricating the same.

siliziumkarbid-abscheideverfahren und verwendung als barriere- und passivierungsschicht
silicon carbide deposition method and use as a barrier layer and passivation layer

siliziumkarbid-Überzug als antireflexionsschicht mit niedriger dielektrischen konstante und sein abscheideverfahren
silicon carbide for use as a low dielectric constant anti-reflective coating and its deposition method

die beschichtung wird mit einem physikalischen abscheideverfahren aus der gasphase (pvd) hergestellt.
the innovative coating is produced through a process known as physical vapor deposition, or pvd.

reaktives mehrfachquelle-abscheideverfahren zur herstellung blaulichtemittierende phosphorschichten für ac-tfel-vorrichtungen.
multi-source reactive deposition process for the preparation of blue light emitting phosphor layers for ac tfel devices.

durch ein abscheideverfahren, insbesondere ein chemisches oder physikalisches abscheideverfahren lassen sich schichten mit sehr hoher präzision erzeugen.
layers can be produced with a very high accuracy by means of a deposition process, in particular a chemical or physical deposition process.

vorteilhafte dem fachmann bekannte abscheideverfahren sind pvd-verfahren wie sputter- und aufdampfverfahren sowie elektronenstrahlverdampfung oder cvd-verfahren, insbesondere plasma-unterstütze cvd-verfahren.
advantageous deposition processes with which the person skilled in the art will be familiar include pvd processes, such as sputtering and evaporation coating processes, as well as electron beam physical vapor deposition, or cvd processes, in particular plasma-enhanced cvd processes.