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dieser umfaßt eine dauerlichtquelle, deren licht durch ein geeignetes optisches system vertikal auf die oberfläche des flächenlichtmodulators auffällt.
this surface light modulator includes a permanent light source whose light falls vertically onto the surface of the surface light modulator through an appropriate optical system.

durch die schnelle programmierbarkeit oder adressierbarkeit des flächenlichtmodulators kann dieser während der verfahrbewegung des positioniertisches zwischen zwei aufeinanderfolgenden teilbildern einer zu erzeugenden gesamtstruktur umprogrammiert oder umadressiert werden.
on the basis of the rapid programmability or addressability of the surface light modulator, said surface light modulator can be reprogrammed or readdressed during the displacement movement of the positioning table between two successive partial images of an overall structure to be produced.

damit ist nicht nur im falle der direktbelichtung von halbleiterscheiben mit wiederholten strukturen eine kurze belichtungspulsfolge möglich, sondern ebenfalls aufgrund der schnellen umprogrammierbarkeit des flächenlichtmodulators die erzeugung von unregelmäßigen strukturen möglich.
this will not only permit a short exposure pulse sequence in the case of direct illumination of semiconductor wafers with repetitive structures, but it will also permit the production of irregular structures on the basis of the rapid reprogrammability of the surface light modulator.

oberflächenbereiche des flächenlichtmodulators sind bei adressierung von steuerelektroden deformierbar, so daß das auf die oberfläche fallende licht bei adressierten oberflächenelementen gebeugt, bei nicht-adressierten oberflächenelementen ungebeugt reflektiert wird.
surface areas of the surface light modulator are adapted to be deformed in response to addressing of control electrodes so that the light falling onto the surface will be reflected as diffracted light in the case of addressed surface elements and as undiffracted light in the case of non-addressed surface elements.

phasenmodulierende mikrostrukturen fÜr hÖchstintegrierte flÄchenlichtmodulatoren
phase-modulating microstructures for highly integrated surface light modulators