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Deutsch

Es resultiert ein Beleuchtungssystem, das flexibel an Polarisationsanforderungen der Anlage sowie der auf das Substrat bzw. den Wafer zu projizierenden Struktur angepasst werden kann.

Englisch

This results in an illumination system which can be flexibly adapted to polarization requirements of the apparatus and the structure to be projected onto the substrate or the wafer.

Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Die Vorteile von MgF2 liegen in dem weiteren Transmissionsbereich von 120 nm – 7µm sowie der fehlenden optischen Aktivität, welche bei Quarz in Anwendungen mit hohen Polarisationsanforderungen störend wirken kann.

Englisch

The advantages of MgF2 are its broader transmission range of 120 nm – 7µm and the lack of optical activity which can be troublesome in applications which require a high degree of polarization.

Letzte Aktualisierung: 2018-02-13
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

Deutsch

Gerät nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Transistor (M7) der Reihe derart dimensioniert ist, dass das geometrische Verhältnis zwischen der Länge L und der Breite W seiner eigenen Kanalzone L»W ist. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Anzahl von Transistoren der Reihe entsprechend den Polarisationsanforderungen des Pull-down-Bauteils (9) einstellbar ist.

Englisch

Device according to claim 6, characterised in that said first transistor (M7) of the series is dimensioned in such a way that the geometric ratio between the Length L and the Width W of its own channel region is L>>W. Device according to claim 3, characterised in that the number of transistors of said series is adjustable according to the requirements of polarisation of said pull-down component (9).

Letzte Aktualisierung: 2014-12-05
Nutzungshäufigkeit: 1
Qualität:

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