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verfahren zur herstellung von verspanntem silizium auf isolator (ssoi) und dadurch erhaltene strukturen
method of forming strained silicon on insulator (ssoi) and structures formed thereby
Letzte Aktualisierung: 2014-11-28
Nutzungshäufigkeit: 2
Qualität:
verspannungs-silizium-auf-isolator (ssoi) und herstellungsverfahren dafÜr
strained silicon-on-insulator (ssoi) and method to form the same
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