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die lichtdetektierenden elemente korrespondieren jeweils mit einer der einrichtungen.
les éléments photodétecteurs correspondent respectivement à un desdits systèmes.

ein optisches prüfsystem nach anspruch 23, worin die lichtdetektierenden mittel weiterhin einen zweiten detektor aufweist, der die intensität des lichtstrahls, der durch das zu prüfende substrat hindurchdringt, detektiert und zweite abtastsignale erzeugt die damit übereinstimmen.
système de contrôle optique tel qu'exposé dans la revendication 23, dans lequel lesdits moyens de détection de lumière comportent, en outre, un second détecteur destiné à détecter l'intensité de la lumière provenant dudit faisceau traversant le substrat sous examen, et à engendrer des seconds signaux de balayage proportionnés à cette intensité.

ein lichtdetektor (10), der folgendes aufweist: ein lichtabfühlendes chip (photo sensing chip) (1) mit einer lichtdetektierenden oberfläche (1'), mindestens eine elektrode (2) verbunden mit dem lichtabfühlenden chip (1) und eine zylindrische konvergierende linse (3a-3c) mit einer einfallsoberfläche (11, 12) zum sammeln einfallenden lichtes aus unterschiedlichen richtungen zur lichtdetektierenden oberfläche (1'), wobei die einfallsoberfläche der zylindrischen konvergierenden linse (3a-3c) entgegengesetzt zur lichtdetektierenden oberfläche (1') und der elektrode (2) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die einfallsoberfläche (11, 12) folgendes aufweist: eine mittige sphärisch gekrümmte oberfläche (11) mit einem ersten krümmungsradius; und eine sphärisch gekrümmte umfangsoberfläche (12) mit einem zweiten krümmungsradius und die mittige sphärisch gekrümmte oberfläche (11) umgebend, und wobei ferner die krümmungsmitten der entsprechenden gekrümmten oberflächen beide entlang der linsenachse (z) verlaufen, und wobei die zylindrische konvergierende linse (3a-3c) direkt auf dem lichtabfühlchip (1) angeordnet ist; und die oberen enden der zwei gekrümmten oberflächen auf der gleichen imaginärebene angeordnet sind.
détecteur de lumière (10) comprenant une puce photodétectrice (1) ayant une surface de détection de lumière (1'), au moins une électrode (2) connectée à la puce photodétectrice et une lentille cylindrique convergente (3a-3c) ayant une surface d'incidence (11-12) pour recueillir de la lumière incidente en provenance de diverses directions vers la surface photodétectrice (1'), la surface d'incidence de la lentille cylindrique convergente (3a-3c) étant en face de la surface de détection de lumière (1') et de l'électrode (2), caractérisé en ce que la surface d'incidence (11, 12) comprend : une surface centrale à courbure sphérique (11) ayant un premier rayon de courbure ; et une surface périphérique à courbure sphérique (12) ayant un second rayon de courbure et entourant la surface centrale à courbure sphérique (11), et les centres de courbure des surfaces courbes respectives se trouvant tous les deux sur l'axe (z) de la lentille ; la lentille cylindrique convergente (3a-3c) étant disposée directement sur la puce photodétectrice (1) et les extrémités supérieures des deux surfaces courbes étant situées sur le même plan imaginaire.