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** karl manne georg siegbahn, prix nobel de physique 1924 et kai siegbahn, prix nobel de physique 1981.
manne siegbahn, who received the physics prize in 1924, was the father of kai siegbahn, who received the physics prize in 1981.
spiroïdales les surfaces des étages siegbahn actives en terme de pompage sont constituées par les surfaces qui se font face d'un disque annulaire de rotor et d'un disque annulaire de stator
, whereby the active pumping surfaces of the siegbahn stages are formed by facing surfaces of a rotor disc and a stator disc
l'invention concerne une pompe à vide rotative (1) à friction comportant des sections de conception différente dont la section située côté admission est composée d'étages du type pompe turbomoléculaire (14, 15) et une autre section composée d'étages du type siegbahn (16, 17) munis chacun de rainures (19) spiroïdales. les surfaces des étages siegbahn actives en terme de pompage sont constituées par les surfaces qui se font face d'un disque annulaire de rotor et d'un disque annulaire de stator (16, 17). afin de simplifier la fabrication d'une pompe de ce type, il est prévu que chacun des disques annulaires de stator (16) soient munis de rainures (19) spiroïdales.
the invention relates to a friction vacuum pump (1) with pump sections of different designs, of which the pump section on the inlet side consists of turbomolecular pump stages (14, 15) and a further pump section of siegbahn stages (16, 17) with spiral grooves (19), whereby the active pumping surfaces of the siegbahn stages are formed by facing surfaces of a rotor disc and a stator disc (16, 17). to simplify the production of such a pump, it is proposed that the stator discs (16) have spiral grooves (19).