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, said sub-layer
, ladite sous-couche
Last Update: 2011-07-27
Usage Frequency: 1
Quality:
each dielectric sub-layer has a thickness of 50 nanometers to 20 nanometers.
l'utilisation de sous-couches diélectriques (4a,4b) très fines, de préférence de moins de 20nm d'épaisseur, séparées les unes des autres par des couches intermédiaires métalliques (5), permet de transposer au niveau du condensateur l'augmentation du champ de claquage et la diminution des courants de fuite liées à une réduction de l'épaisseur du diélectrique, tout en conservant un champ de travail raisonnable.