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photoactive layer containing macroparticles and nanoparticles
photoaktive schicht mit makropartikeln und nanopartikeln
Last Update: 2014-11-28
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method and device for evaporating an arc discharge cathode with cathode spots with reduced macroparticle emission.
verfahren und vorrichtung zur verdampfung einer bogenentladungskathode mit verminderte spritzerbildung aufweisenden kathodenbrennflecken.
Last Update: 2014-11-28
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