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feed hand wheel with selectable step advance of 0.5, 1, 10, 100um per click stop allows precise layer removal.
mit dem handrad kann die probe in genau definierten schritten von 0,5, 1, 10 bzw. 100µm abgefräst werden.
method of determining the layer removal end-point during layered substrate development or etching, and apparatus for carrying out this process.
verfahren zur endpunktbestimmung der schichtabtragung beim entwickeln oder Ätzen von beschichteten substraten und einrichtung zur durchführung des verfahrens.