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procede de commande de rayonnement et dispositif de commande de rayonnement pour source de lumiere pulsee, utilise dans un aligneur
apparat und methode zur kontrolle der beleuchtung fÜr eine gepulste lichtquelle, verwendet in einer ausrichtevorrichtung
aligneur, procede d'exposition mettant en oeuvre ledit aligneur et procede de fabrication d'un dispositif de circuit
ausrichteinrichtung,belichtungsverfahren unter verwendung der ausrichteinrichtung,und verfahren zur herstellung einer schaltungsanordnung
dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dispositif de manipulation de substrats est un aligneur de substrats (32).
vorrichtung nach anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die substrat-handhabungseinheit ein substrat-ausrichter (32) ist.